對超純水進行pH值的測量是保證超純水設備產水是否符合生產要求的重要手段之一。所以，在edi超純水設備系統的日常運行中要保證經常對產水進行pH值測量，并及時做好相關記錄。

測量超純水的pH值需要特殊的條件。由于性質比較特別，超純水被稱為世界上最強力的溶劑。

水的化學式一個氧原子加兩個氫原子，無色無味。由于絕對的純水能夠溶解任何接觸到的物質，因此它絕對的純度是不可能保持的。由于超純水沒有任何緩沖能力（即在溶解其它物質的同時保持自己的pH值），因此最微小的污染也會改變它的pH值。

純水是一種優良的絕緣體，因此在測量pH值的時候很難讓pH計的測量電極和參比電極之間導通。這樣在測量用的電極電路中產生極高的電阻，會使得測量的電信號噪聲變大，電極的反應變慢，并產生靜電雙電層。這種靜電雙電層在純水流經塑料管道時很常見。它產生的電場會使得測量得到的電阻比實際值大，這樣測量得到的pH值數據是錯誤的。

測量超純水的pH計需要用特殊的電極，它接一個金屬的、接地的附件。通過接地，增大了整個電路的電容，從而降低了電信號噪聲。同時由于接地分流了電荷，使得測量信號的穩定時間增大，也在某種程度上降低了靜電雙電層的強度。電極的附件還包括凝膠裝填的參比電極或者流動的聯結點，這可以在測量pH值得時候快速的在連接點兩側建立電位平衡。流過聯結點的電解液偶爾會阻塞聯結點。將整個測量電路放置在配件旁邊，可以讓代測樣品的電荷釋放掉，從而保持測量電極承受的壓力穩定。這同樣能夠解決樣品被KCl電解液污染的問題。

通過對上述描述的理解，我們發現：要保證超純水pH值測量的準確性必須要保證以下兩個條件：一是要保證測試的特殊條件能夠得到滿足，二是要使用特性電極的pH計，三是要經過三次以上的測量數據綜合進行技術。通過這樣的方式才可能在最大程度的保證超純水pH值的準確性。